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테크 · 3분레티클 한계란 — AI 칩이 더 커지지 못하게 막는 26×33mm
정의 — 한 번의 노광으로 찍는 최대 면적. 기존 EUV는 26×33mm(약 858㎟)가 칩 크기의 물리적 상한이다
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정의 — 한 번의 노광으로 찍는 최대 면적. 기존 EUV는 26×33mm(약 858㎟)가 칩 크기의 물리적 상한이다